行業(yè)概括
半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。揮發(fā)性有機(jī)廢氣主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工序,在這些工序中要用有機(jī)溶液(如異丙醇對(duì)晶片表面進(jìn)行清洗,其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機(jī)廢氣的來源之一;同時(shí),在光刻、刻蝕等過程中使用的光阻劑(光刻膠)中含有易揮發(fā)的有機(jī)溶劑,如醋酸丁酯等在晶片處理過程中也要揮發(fā)到大氣中,是有機(jī)廢氣產(chǎn)生的又一來源。半導(dǎo)體制造工藝中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機(jī)物成分。在工藝過程中,這些有機(jī)溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。
行業(yè)解決方案
目前,有機(jī)廢氣排放處理措施采用大風(fēng)量低濃度,其處理一般采用吸附濃縮與焚燒相結(jié)合的方法,處理效率在95%以上。
案例一:某知名手機(jī)玻璃美企采用華世潔轉(zhuǎn)輪一體機(jī)
分子篩轉(zhuǎn)輪+熱氧化 ? 蓄熱式熱氧化RTO ? 吸附回收
服務(wù)客戶